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PRODUCT FEATURES
产品特点
石英腔体
采用石英腔体能够高效地解离氧气等制程气体
功率高
功率最高可达6kW
功率稳定
功率控制稳定性高,控制精度误差小于1%
支持多种制程
宽点火窗口范围,支持 O₂-N₂混合、O₂-H₂混合等多种制程
应用工艺
主要应用工艺:去胶